中央超純水供應(yīng)系統(tǒng)采用集中制備，分質(zhì)供水。所謂中央集中制水、分質(zhì)供水，就是用一套水處理系統(tǒng)對自來水進(jìn)行深度處理，使其達(dá)到各科室可直接使用的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，再分別用管網(wǎng)供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設(shè)計；任一套故障或檢修時，另一套能確保正常制水；控制系統(tǒng)為自動和手動各一套，正常運(yùn)作時為全自動控制，可無人值守運(yùn)走，自動控制故障時，手動控制可保證設(shè)備運(yùn)作，確保正常供水。
系統(tǒng)特點說明：
1、顯示控制器、動畫式流程圖，實時顯示并監(jiān)控各水處理單元工藝運(yùn)行狀態(tài)；
2、運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線顯示：流量在線顯示、壓力在線顯示、源水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)在線監(jiān)測及數(shù)字顯示等，實時了解設(shè)備運(yùn)行情況，方便對系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控和分析；
3、所有水箱液位全自動控制：中間水箱、純水箱、水箱之間的設(shè)備連接不僅實現(xiàn)聯(lián)動，同時保護(hù)每臺泵不至空轉(zhuǎn)而損壞；
4、產(chǎn)品水質(zhì)在線監(jiān)測與不合格水循環(huán)處理：為保證用水點水質(zhì)符合要求，主機(jī)產(chǎn)水水質(zhì)實時在線監(jiān)測，并設(shè)有水質(zhì)反饋裝置，不合格水質(zhì)循環(huán)再處理；
5、具備自動沖洗管網(wǎng)功能，定期對管路進(jìn)行清洗，以保持管道內(nèi)部潔凈，管路沖洗時，可直接排放，也可回流到制水設(shè)備主機(jī)重新利用，以節(jié)約水源；
中央超純水供應(yīng)系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分：
超純水制造區(qū)（CUB部分）；
超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；
超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。
其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。
預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池）；
一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；
超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器。
但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。
